12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱
晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海和呈儀器有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理。控制方便、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造，大大提高生產(chǎn)效力！
晶圓智能烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構。
晶圓智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300
均勻度：±1.5%
潔凈等級： Class100
升溫速度：常溫～300℃,升溫速度>6℃/min
降溫速度：降溫斜率程序可控，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘
控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+PC工控電腦。
智能控制系統(tǒng)特點：
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權限分級管理，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報警，事件等等數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷
◆ PC 內部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，短數(shù)據(jù)記錄間隔5S；
◆ 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
◆ 系統(tǒng)控制開/關門等動作；
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標、門未關到位；
◆ 實施記錄各種相關數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息
產(chǎn)品參考圖：
